It-teknoloġija tal-mikromachining hija proċess flessibbli ħafna, li jista 'jipproduċi mikro komponenti b'forom kumplessi. Barra minn hekk, jista 'jiġi applikat għal firxa wiesgħa ta' materjali. L-adattabilità tagħha tagħmilha adattata b'mod speċjali għal tħaddim rapidu minn idea għal prototip, manifattura ta 'strutturi 3D kumplessi, u disinn u żvilupp iterattiv tal-prodott,
1. Teknoloġija tal-mikromachining fiżika
Ipproċessar tar-raġġ tal-lejżer: proċess ta 'proċessar li juża l-enerġija tas-sħana iggwidata mir-raġġ tal-lejżer biex ineħħi materjali minn uċuħ tal-metall jew mhux tal-metall. Huwa aktar adattat għal materjali fraġli b'konduttività baxxa, iżda jista 'jintuża għal ħafna materjali.
Ipproċessar tar-raġġ tal-joni: teknoloġija importanti tal-manifattura mhux konvenzjonali għall-manifattura mikro/nano. Juża l-fluss tal-joni aċċellerat fil-kamra tal-vakwu biex tneħħi, iżżid jew timmodifika l-atomi fuq il-wiċċ tal-oġġett.
2. Teknoloġija ta 'mikromachining kimika
Inċiżjoni tal-jone reattiv (RIE): proċess tal-plażma li fih is-sustanzi huma eċċitati permezz ta 'skarigu RF biex inċiżi sottostrati jew films f'kamra ta' vultaġġ baxx. Huwa proċess sinerġistiku ta 'sustanzi attivi kimiċi u bumbardament joniku ta' enerġija għolja.
Makkinar elettrokimiku (ECM): metodu ta 'tneħħija tal-metalli permezz ta' proċessi elettrokimiċi. Normalment jintuża għall-produzzjoni u l-ipproċessar fuq skala kbira ta 'materjali estremament iebsa jew materjali li huma diffiċli biex jiġu pproċessati b'metodi tradizzjonali. L-użu tiegħu huwa limitat għal materjali konduttivi. L-ECM jista 'jaqta' angoli żgħar jew irregolari, kontorni kumplessi jew kavitajiet f'metalli iebsa u rari.
3. Teknoloġija ta 'mikromachining mekkaniku
Tidwir tad-djamanti: il-proċess ta 'tidwir jew magni ta' komponenti ta 'preċiżjoni b'torn jew magna derivattiva mgħammra b'bit djamant naturali jew sintetiku.
Tħin tad-djamanti: proċess ta 'qtugħ li jista' jintuża biex jiġġenera firxa ta 'lenti asferika permezz ta' qtugħ ċirkolari bl-użu ta 'għodda djamant sferika.
Tħin ta 'preċiżjoni: makkinar li joborxu li jippermetti li l-biċċa tax-xogħol tiġi mmaxinjata f'finitura fina tal-wiċċ u tolleranza mill-qrib ħafna ta' 0.0001 ".
Illustrar: proċessar li joborxu, illustrar tar-raġġ tal-jone tal-argon huwa proċess pjuttost stabbli, li jintuża għall-irfinar tal-mirja tat-teleskopji u l-korrezzjoni ta 'żbalji residwi ta' illustrar mekkaniku jew apparat ottiku tat-tidwir tad-djamanti. Il-proċess tal-MRF huwa l-ewwel proċess tal-illustrar deterministiku. Kummerċjalizzati u użati fil-produzzjoni ta 'lentijiet asferiċi, rifletturi, eċċ.
